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      產品展示
      ?JC系列磁控濺射鍍膜機
      • 用途及特點
      • 規格參數
        JC系列用途及特點
        Use and Features
         
        ●磁控濺射鍍膜設備主要用于在基片上鍍制金屬、半導體、電介質、多元素化合物或混和物。利用濺射法可制備金屬膜、半導體膜、絕緣膜、硬質膜、耐熱膜、耐腐蝕膜、超導膜、磁性膜、光學膜等各種特殊性能的薄膜。
        ●基片尺寸適應范圍廣,可鍍制多種材料,工藝可控性好、靈活性強、重復性高、基片溫升小、膜層附著力強,計算機全自動控制,******性高。且安裝維護方便,占地位置小。
        JC系列磁控濺射鍍膜機
        Series JC Magnetron Sputtering Coater
         
        主要機型及參數
        Main models and parameters
        型號
        Model
        應用特點
        Application field
        裝片工作臺特點
        Features of film loading bench
        基片尺寸
        Size of substrate
        產量/每小時
        1μ鋁層厚度
        Output per hour 1μm aluminum coating thickness
        厚度
        均勻性
        thickness homogeneity
        真空系統
        Vacuum system
        JC400-1/D 適合科研、生產硅片及砷化鎵片
        Scientific research,production of silicon film and gallium arsenide film
        全自動盒對盒送片,濺射源數量可按工藝調整,低塵粒
        Full automatic box-to-box film advance;quantity of sputtering source to be adiusted as per the process;low in density of dust particles
        4~6″ 40 ±5% 低溫泵加
        分子泵系統
        Cryogenic pump system added with molecular pump
        JC500-1/D 適用于圓形片狀工件
        Circular sheet work-piece
        工件可進行公轉,水平裝片
        Revolution of work-piece available;horizontal film loading
        4″ 16 ±8% 分子泵系統
        Turbomolecular pump system
        JC500-5/D 適用于矩形片狀工件
        Rectangular sheet work-piecevv
        工件可進行公轉,垂直裝片
        Revolution of work-piece available;vertical film loading
        150x150mm 10 ±8% 分子泵系統
        Turbomolecular pump system
        JC600-1/D 適用于矩形片狀工件
        Rectangular sheet work-piecevv
        工件架為十邊拄形,垂直裝片
        work-piece holder in decagonal column shape;vertical film loading
        280x100mm 20 ±8% 擴散泵系統
        Diffusion pump system
        JC600-2/D 適合科研、生產砷化鎵基片線寬亞微米級
        Scientific research,production of gallium arsenide film with line width at submicron level
        工件可進行自傳、公轉
        水平裝片
        Rotation and revolution of work-piece available;horizontal film loading
        3″ 24 ±5% 低溫泵系統
        Cryogenic pump system
        JC650-1/D 適用于矩形或圓形片狀工件
        Rectangular or circular sheet work-piece
        工件可進行公轉,水平裝片
        revolution of work-piece available;horizontal film loading
        Φ100mm 10 ±5% 分子泵系統
        Turbomolecular pump system
         

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