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      產品展示
      F型渦輪分子泵
      • 用途及特點
      • 規格參數
        產品用途:Product Applications
         
        ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
         
        主要應用領域:Main applications:
         
        ●表面物理和分析儀器
        ●等離子體物理,空間研究
        ●核聚變裝置
        ●原子束分子束系統,粒子加速器
        ●真空鍍膜
        ●真空冶煉
        ●半導體和光學器件制造

        產品特點:Product Features
         
        ●體積小,安裝和使用方便
        ●理想的動平衡,震動和噪音小
        ●壓力在10-1~10-8pa范圍內有恒定的抽速
        ●陶瓷軸承使用壽命長
        F型渦輪分子泵
        Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
        技術參數Technical specifications:
        型號 
        Model
        FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
        進氣口法蘭 
        Inlet flange  (mm)
        DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
        出氣口法蘭 
        Oulet flange  (mm)
        DN40KF DN63LF DN100LF
        抽氣速度  
        Pumping speed  (L/S)
        450 1400 3500
        極限壓力
        Ultimate pressure
        不烘烤
        Without baking  (Pa)
        6×10-6 6×10-6 6×10-6
        壓縮比
        Compression ratio
        對N2 108 108 108
        對H2 102 102 102
        轉速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
        起動時間  
        Start-up time <(Min)
        5 10 20
        前級壓力  
        Fore pressure <(Pa)
        10 10 10
        建議采用的前級泵
        Recommended backing pump  (L/s)
        8 15 30
        冷卻水溫度
        Cooling water temperature <(℃)
        ≤25 ≤25 ≤25
        冷卻水壓力
        Cooling water pressure (Mpa)
        0.196 0.196 0.196
        泵體烘烤溫度
        Temperature of baking <(℃)
        120 120 120
        重量  
        Weight(Kg)
        35 70 125
         

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