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      立式氫氣爐技術參數表格
      • 用途及特點
      • 規格參數
         產品應用
         
        本設備供光電成像器件中零部件、坡莫合金和各種電真空器件在真空中退火、焊接、除氣、及表面凈化處理用。
             型號    
              Mode    
               技術參數  
          Technical Data   
        L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(無油) L1122Ⅱ-1
        ******加熱溫度(空爐 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
        額定工作溫度
        Rated Working Temperature
        1200℃ 1100℃ 2100℃
        加熱方式
        Heating Mode
        鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鉭皮
        Tantalum sheet
        爐溫均勻性
        Furnace Temperature Uniformity
        ±5℃ ±5℃ ±5℃
        爐膛尺寸
        Furnace Chamber Dimension
        Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
        控溫精度
        Temperature Control Precision
        ±1℃ ±1℃ ±1℃
        空載室溫到工作溫度時間
        From Room Temperature to working temperature
        < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
        真空系統
        Vacuum System
        擴散泵系統
        Diffusion Pump System
        分子泵系統
        Turbo Pump System
        分子泵系統
        Turbo Pump System
        極限真空(空爐)
        Ultimate Pressure(no-load)
        5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
        工作真空度
        Working Vacuum
        5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
        壓升率
        Pressure Rise Rate
        0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
        冷卻水壓
        Cooling Water Pressure
        0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
        總重量
        Total Weight
        1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
        設備總功率
        Total Power
        30 KW 22 KW 30 KW


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